近日，山东大学晶体材料研究所何京良教授等承担完成的山东省2006年自主创新重大科技专项“半导体激光耦合技术和高功率光纤激光器”项目通过了省级鉴定。
以中科院院士、南京大学祝世宁教授为主任的鉴定委员会认真审核后，一致认为，该项目超额完成了合同技术指标，已授权2项发明专利和4项实用新型专利，项目总体技术水平和性能指标达到国内领先水平，其中大功率全固态紫外激光输出稳定度等若干技术指标已达到国际先进水平，并建议课题组进一步优化大功率紫外激光器整体结构设计，早日形成产品，推向市场。
据了解，高重频脉冲紫外高能量光子能直接打断材料分子键，纳秒短脉冲光束与材料相互作用产生光子消融过程，避免了长脉冲引起的热致缺陷和不足，能量集中、边缘清晰，特别有利于SiC、GaN等宽带隙半导体材料、碳聚合物和ITO薄膜的精细加工。最近几年，我国的LED白光照明、光伏制造业和PCB制造业已经形成很大的产业规模，需要大量的紫外激光加工设备，但目前5W以上大功率高性能紫外激光器基本上依赖进口，价格十分昂贵。针对这一市场需求，课题组在完成项目任务的基础上，依靠山大晶体材料、半导体激光和耦合技术上的优势，研制了一台高稳定性5W 355nm紫外激光加工系统（ICM-UV-I）。该系统已成功用于宽带隙半导体材料SiC打标和LED晶片大面积表面粗化和刻蚀。
该项目大功率紫外激光加工系统的完成为后期规模化产业打下了很好的实验基础和技术积累，在加速现代激光制造装备国产化进程中迈出了坚实的一步。除山东省重大专项资助外，该项目还得到了山东大学“985”二期“泰山学者——功能材料创新平台”和国家创新群体科学基金项目的大力支持。（蒋宛莉）
以中科院院士、南京大学祝世宁教授为主任的鉴定委员会认真审核后，一致认为，该项目超额完成了合同技术指标，已授权2项发明专利和4项实用新型专利，项目总体技术水平和性能指标达到国内领先水平，其中大功率全固态紫外激光输出稳定度等若干技术指标已达到国际先进水平，并建议课题组进一步优化大功率紫外激光器整体结构设计，早日形成产品，推向市场。
据了解，高重频脉冲紫外高能量光子能直接打断材料分子键，纳秒短脉冲光束与材料相互作用产生光子消融过程，避免了长脉冲引起的热致缺陷和不足，能量集中、边缘清晰，特别有利于SiC、GaN等宽带隙半导体材料、碳聚合物和ITO薄膜的精细加工。最近几年，我国的LED白光照明、光伏制造业和PCB制造业已经形成很大的产业规模，需要大量的紫外激光加工设备，但目前5W以上大功率高性能紫外激光器基本上依赖进口，价格十分昂贵。针对这一市场需求，课题组在完成项目任务的基础上，依靠山大晶体材料、半导体激光和耦合技术上的优势，研制了一台高稳定性5W 355nm紫外激光加工系统（ICM-UV-I）。该系统已成功用于宽带隙半导体材料SiC打标和LED晶片大面积表面粗化和刻蚀。
该项目大功率紫外激光加工系统的完成为后期规模化产业打下了很好的实验基础和技术积累，在加速现代激光制造装备国产化进程中迈出了坚实的一步。除山东省重大专项资助外，该项目还得到了山东大学“985”二期“泰山学者——功能材料创新平台”和国家创新群体科学基金项目的大力支持。（蒋宛莉）